14 モノシラン （可燃性・毒性ガス 無色・不快臭） 分子式 SiH4 分子量 32.1 容器の色 ねずみ色 用 途 半導体材料ガス、光ファイバー、高純度シリコン製造用 該当法規 高圧ガス保安法、労働安全衛生法 物理的 性質 可燃性・毒性のガス 無色、不快臭 事故例 1991年 実験室内における シランガスを用いたCVD（化学気相成長法）装置を ガス爆発事故 大学院生、学部生 死亡 使用して半導体を作る実験中、漏れたガスが爆発し 大学院生及び学部生の2名が死亡 … 文献「大阪大学モノシランガス爆発事故調査委員会 〈中間報告書〉 (抄)」の詳細情報です。j-global 科学技術総合リンクセンターは研究者、文献、特許などの情報をつなぐことで、異分野の知や意外な発見などを支援する新しいサービスです。またjst内外の良質なコンテンツへ案内いたします。 2：事故原因 ガスは、シラン・ｱﾝﾓﾆｱ･亞酸化窒素・四ﾌｯ化炭素・窒素にて、CVD装置で薄膜形成 （Si3N4）をしている。 粉末未反応のガス共に、排気ガス中に（NH4）2SiF6を主成分とし、SiOxNyHzを含む 固形物が排気される。このSIOxNyHzは反応性が高い。

6（2007） 過去20年のおもな化学事故，交通運輸事故，製品事故 2.2 1988年7月3日：日新製鋼呉製鉄所で配管 爆発，高炉ガス噴出 高炉火入れ時の熱風炉連続送風中，燃料ガス支管途

LPガス容器積載のトラックと乗用車の交通事故により、トラックが横転し、LPガス容器41本（50kg×16本、30kg×2本、20kg×23本）が路上に散乱、うち3本のバルブが緩み、LPガスが漏えいした。すぐに運転手がバルブを閉止し、漏えいは停止。 モノシラン： tksd-60337g：2016/07/28 1/7 安全データシート 1111．．．．化学品及化学品及びびびび会社情報会社情報 化学品ののの名称の名称 ： モノシラン 化学名 ： シラン ガスコードガスコード ： 337 会社名 ： 高千穂化学工業株式会社 モノシランガス容器交換中の爆発事故.
・この事故の前に、モノシランガスの爆発事故は多発 半導体業界で、ボンベ交換時に漏洩したガスが爆発 モノシランガス配管からガスが漏洩して爆発 ・この設備でもガス漏洩を想定した対策はしていたが‥ 過去20年のおもな化学事故，交通運輸事故，製品事故 407 Vol. ホーム / ブログ / SiH4 / モノシランガス容器交換中の爆発事故. ガス事故撲滅と環境安全を希求する業界共有の実践指針！ ... 事例2 モノシランガスのシリンダーキャビネット内での爆発 ... 小西 俊一 日立プラント建設（株）空調プラント事業本部設備事業部西部設計部主 …

それぞれの事故について事象を時系列で整理し，「事故分析手法pfa」（商標登録 第5580785号）で分析した事故進展フロー図，関連化学物質の危険性情報，化学プロセスフローなどをリレーショナルにリン … 日立は、モビリティ、ライフ、インダストリー、エネルギー、ITの5分野でLumadaを活用したデジタルソリューションを提供することにより、お客さまの社会価値、環境価値、経済価値の3つの価値向上に貢 … 46 No. ガス事故撲滅と環境安全を希求する業界共有の実践指針！ 半導体主要各社の全面的協力により実現した、直近10年間のガス事故53事例の詳細報告と対策技術の提示。災害ポテンシャルを根本から掘り起こす、21世紀半導体産業の貴重な羅針盤; 主要構成 SiH4 (モノシラン) 2010年03月21日 モノシランガス容器交換中の爆発事故について、ご紹介いたします。 もう10数年も前のことですから。知ってる人も少ないでしょう。僕は事故のその瞬間は現場の東方50mくらいのところで居たのですが、学科違いなのでどの業者が納入したとかは知りません。しかし、そもそも業者の責任ですか？案外、大学側が 過去20年のおもな化学事故，交通運輸事故，製品事故 407 Vol.

46 No.
6（2007） 過去20年のおもな化学事故，交通運輸事故，製品事故 2.2 1988年7月3日：日新製鋼呉製鉄所で配管 爆発，高炉ガス噴出 高炉火入れ時の熱風炉連続送風中，燃料ガス支管途